半导体安全成分检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.重金属成分：铅，镉，汞，六价铬等。

2.有机污染物：多溴联苯，多溴二苯醚，邻苯二甲酸酯等。

3.微量元素分析：铁，铜，镍，锌，钠，钾等。

4.晶圆表面金属杂质：铝，镁，钙，锂等。

5.卤素含量：氟，氯，溴，总卤素等。

6.焊料成分分析：锡，银，铜，铋等。

7.封装材料成分：环氧树脂，硅氧烷，固化剂等。

8.挥发性有机物：苯系物，醛酮类，醇类等。

9.表面离子污染：氯离子，硝酸根离子，硫酸根离子等。

10.放射性元素：铀，钍，镭等。

11.掺杂元素浓度：硼，磷，砷，锑等。

12.硅材料纯度：碳含量，氧含量等。

13.全氟及多氟烷基物质：全氟辛酸，全氟辛烷磺酰基化合物等。

14.晶格缺陷与杂质：位错密度，微缺陷密度等。

检测范围

硅晶圆、砷化镓晶圆、碳化硅晶圆、氮化镓晶圆、光刻胶、蚀刻液、掺杂气源、封装树脂、引线框架、焊锡球、导电胶、掩膜板、靶材、电子特种气体、抛光液、清洗剂、键合丝、芯片粘接材料、塑封料、陶瓷基板

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：用于超痕量金属元素及非金属元素的定量分析；具备极高的灵敏度与宽线性范围。

2.电感耦合等离子体发射光谱仪：用于常量及微量金属元素的定性与定量检测；可同时分析多种元素。

3.气相色谱质谱联用仪：用于挥发性有机物及半挥发性有机物的分离与定性定量分析；具备强大的谱库检索功能。

4.液相色谱质谱联用仪：用于高沸点、热不稳定及大分子有机物的成分分析；适用于复杂基质的样品检测。

5.离子色谱仪：用于阴离子与阳离子的定性定量分析；特别适用于表面污染离子及高纯水中离子的检测。

6.俄歇电子能谱仪：用于材料表面极薄层的元素分析与化学态鉴别；具备高空间分辨率的微区分析能力。

7.二次离子质谱仪：用于固体表面痕量杂质的深度剖析与同位素分析；具备极高的检测灵敏度。

8.傅里叶变换红外光谱仪：用于有机物及部分无机物的官能团鉴定与结构分析；支持微量及微区成分检测。

9.扫描电子显微镜能谱仪：用于材料微观形貌观察与微区元素成分分析；具备高分辨率成像与元素面分布分析能力。

10.热重分析仪：用于材料在程序控温下的质量变化测定；可分析材料的热稳定性及组分含量。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器资质